淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應用
點(diǎn)擊次數：1084 更新時(shí)間：2019-09-27
淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應用
激光干涉儀是激光的應用之一，它以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量。激光干涉儀除了可以用來(lái)測量長(cháng)度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量?jì)x器的校正工作。
未來(lái)，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統、光學(xué)系統等方面進(jìn)行發(fā)展，從測量數據的可靠性、性，以及測量?jì)x器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。
下面簡(jiǎn)要介紹一下激光干涉儀在幾個(gè)領(lǐng)域的應用情況。
1、數控機床檢定中的應用
隨著(zhù)數控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數控機床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前*的、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線(xiàn)位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應用多。與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時(shí)處理數據，為機床誤差修正提供依據，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實(shí)現和替代的。
2、位移傳感器
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點(diǎn)是測量精度快、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個(gè)精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統與激光干涉儀對定位移進(jìn)行測試對比，得出往復測試實(shí)驗結果。
